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080903微电子学与固体电子学专业
1、《功率和射频集成电路》本方向结合我校特色和优势，开展超大规模专用集成电路与集成系统的设计、模拟、建模和测试技术研究。研究方向包括新型集成功率器件与射频器件、功率驱动和电源管理集成电路、CMOS模拟集成电路、、微传感器集成电路、光纤通信和射频集成电路、射频识别和微波集成电路等。
2、《半导体材料与器件》本方向对当前各种新型半导体材料的电学、光学和磁学特性开展研究，并在此基础上探讨各种新器件的设计和制造技术。其主要方向包括：半导体纳米材料的制备与性能、化合物半导体材料与器件、自旋电子器件、硅基平板微腔光学器件、RTD器件、硅基微纳电子器件及其可靠性。
3、《微机电系统》MEMS技术融合了微电子、材料学、力学等多门学科，在物联网时代有着广阔的应用前景。本方向主要研究微机电系统新型器件的机理、工艺、检测、模型和可靠性，射频MEMS开关及其阵列、匹配网络和功能电路的设计、制作和封装。